美國Nanometrics前身是英國Accent公司,最早名為Bio-Rad公司.在此行業已經有30多年的經驗.在國內與德儀公司合作,組成10餘人的售後服務團隊,其中6人次曾經到Nanometrics工廠受訓,專業技術能力較強,在臺灣和大陸地區具有20年的售後,維修等服務.並建有常用備品備件庫.可以快速更換可能的故障部品.可在中國大陸進行設備維修服務而無需送出國外.減少客戶的麻煩,避免額外費用支出.
ECVpro使用全自動電化學CV測量方法，採用酸堿電解液等量測及分析半導體/太陽能電池材料不同深度的載流子濃度等參數。此儀器是使用最新的測量電路技術，可提供高穩定度且簡單的操作。
特點：
全自動樣品接觸方式,Cell裝入/Cell充滿/Cell排空和樣品清潔方式
高可再現性密閉環/樣品接觸壓力,測量重複性保證
密閉環組裝設計,防止刻蝕面積受力變化
即時Cell監控功能,在電解液充滿/刻蝕過程可進行全程監控,
高可靠性參考電極設計-無汞設計, 無揮發問題
樣品尺寸12mmx12mm到直徑150mm都可進行量測
無限深度刻蝕能力
可選配透明接觸電極 – 適合於需要進行光學量測需要
樣品製備無要求
可識別微小摻雜變化(由於溫度變化導致或其他原因)
直接量測活化摻雜物等級
全自動運行,消除人為因素對測試結果的影響
卓越的重複性(<1% 1s)
卓越的再現性
美國Nanometrics | |
型號 | ECVpro |
載流子測量範圍 | 1012 cm-3 - 1022 cm-3 |
刻蝕深度 | 0-無限深度 |
刻蝕解析度 | 1nm |
配備光源 | 石英鹵素燈或高穩定汞氙等,配備電流控制器,可改變輸出光強.可提供紫外光源 |
刻蝕監控能力 | 即時監控,隨時掌握監控狀態 |
氣泡消除功能 | 內置氣泡消除功能,可自動將刻蝕產生氣體消除,保證下一步刻蝕精度 |
刻蝕液裝載 | 自動裝載,配備去離子水,電解質,廢液等容器,自動配比清洗.自帶泵浦,自動抽取 |
刻蝕液Cell安裝 | 獨立Cell,易抽取式設計,更換密閉環方便,可保證密閉壓力.保證刻蝕精度和重複性 |
安裝條件 | 電,去離子水,壓縮空氣,真空.無需配備氮氣 |
載流子頻率: | 0.3Hz-50kHz |
信號放大: | 0-400mV,峰峰值 |
偏置電壓: | ±10V |
電流積分器: | ±2%,最大到1024µA |
擊穿電壓: | 40V |
原廠公司規模 | 500人 |
中國服務人員 | 6人，8年經驗 |
市場佔有 | 全球500+（中國40+） |
測試精度 | 2.5% |
內建校正組件,可自校準 | 有 |
具有自動測試導引軟體，指導測試人員進行樣品測試，符合SEMI-E95國際規範 | 有 |
具有CELLING RING防變形裝置 | 有 |
採用自動清洗,自動充填腐蝕材料,避免人工清洗造成的影響,提升測試的準確性和重複性 | 有 |
教學式操作軟體,使用人員少量培訓即可使用 | 有 |
內置CCD配合軟體,可即時監控電解液情況 | 有 |
配備氣泡去除功能,減少電解液測試不準確度 | 有 |
可測材料: | Si,SiC,GaN,III-V化合物,IV-VI化合物 |
售後服務 | 專業的售後服務團隊,可直接進行本地維修,無需送回原廠.20年的ECV售後經驗,可最快解決客戶問題 |
