FilmTek™Solar是一款精確而經濟的薄膜厚度測量系統，專為紋理基材而設計。與競爭的橢偏儀設計不同，FilmTek™Solar不需要特殊的臺式傾斜或樣品對準。通過將小的測量光點尺寸與大的收集角度相結合，可以獲得粗糙和紋理化的基板的極好的信噪比，而無需樣品對準。FilmTek™軟體自動類比紋理單晶矽基板的多次反射，以提供準確的膠片測量。FilmTek TM太陽能特別適用於在織構化矽襯底（例如，沉積在單晶矽和多晶矽襯底上的氮化矽膜）上測量抗反射塗層。    

• 薄膜厚度範圍：3nm-150μm

• 薄膜厚度精度：NIST可溯源標準氧化物1000Å到1μm的±2Å

• 光譜範圍：240nm-950nm測量光點尺寸：1mm

• 樣品尺寸：2mm到156mm

• 標準光譜解析度：0.3nm

• 光源：調節的氘 - 鹵素燈（2000小時壽命）

• 檢測器類型：2048圖元Sony線性CCD陣列

• 反射靜態重複性@ 600nm（1s）：0.01％

• 測量時間：每個部位<1秒（例如氧化膜）

• 資料獲取時間：0.2秒

• 電腦：帶Windows™7作業系統的核心處理器