FilmTek™3000M组合反射透射计量系统的开发旨在高效，准确地测量沉积在透明基底上的图案化薄膜。 FilmTek™3000M可以使用小到2μm的光斑，并且可以为平板显示器应用配备大型定制平台。
利用高功率物镜进行亚15μm点测量的常规光学测量系统容易出现明显的信号衰减和光学伪影，限制了其用于图案化样品，非均匀薄膜和厚膜。 FilmTek™3000M的专利光学设计即使在小光斑测量中也能保持高信号保真度，允许小于10μm的光斑与低功率物镜。避免使用高功率物镜对于限制所收集的光的角度光谱并使光谱反射和透射的相干性最大化是至关重要的。
薄膜厚度范围：5nm至350μm（5nm至150μm是标准）
薄膜厚度精度：NIST可溯源标准氧化物的±1.5Å1000Å至1μm
CD 精度（1σ）：<0.2％
光谱范围：380nm至1700nm（380nm至1000nm是标准）
测量光斑尺寸：2μm（5×10μm标准，10倍物镜）
样品尺寸：2mm至600mm（150mm为标准）
光谱分辨率：0.3-2nm
光源：稳定的卤素灯（寿命2,000小时）
检测器类型：2048像素索尼线性CCD阵列/ 512像素冷却滨松InGaAs CCD阵列（NIR）
计算机：带有Windows™7操作系统的多核处理器
测量时间：每个场地<1秒（例如氧化膜）
