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TREK 1100TN静电力显微镜可以实现高空间解析度(10μm)的电压分布测量。
测量范围: ±1 kV
测量灵敏度:优于100mV
测量精度: 优于 0.5% (满量程)
扫描步进: 最小1 μm
探针面积: 5 μm X 5 μm
测量扫描面积: 5 mm X 5 mm