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全自动机械手上下料大尺寸平板测量系统具有自我测试功能,测量点位补偿功能,测量范围广
最小0.1mm测量解析度,用户可编程测量点位
CIM通信方式,2-D/3-D测量数据图谱
样品尺寸:~2,880 x 3,080mm
测量范围:1. RT-3000/S 型号;[RS] 1m~10M Ω/sq2. RT-3000/H 型号;[RS] 10m~1GΩ/sq