全自動化的光學檢測系統，用於分析不透明，透明和半透明晶圓的缺陷。 nSPEC®通過詳細的報告和繪圖提供快速的量化和缺陷鑒定。
nSPEC®可以成像和分析基板和epi晶圓以及圖案和切塊晶圓以及單個設備。該系統具有多個放大倍數，以充分表徵缺陷的頻率和類型。 nSPEC®還提供完整的晶圓快速掃描和鑲嵌。用戶可以輕鬆定義報告和統計功能。
• 光路系統
• LED白光照明
• 明暗場鏡頭,5x和10x
• DIC對比技術
• 偏振和分析功能
• 樣品台
• 200mm, XY移動樣品台
• 中心負載,5磅最大
• 重複性,±2um
• 精密鋁合金板不銹鋼軌道
• 解析度, ,±2um
• 樣品盤,2-12inch可選
• 標準鏡頭
• 圖元面積,4.54um
• 圖像尺寸 2552*2200
• 最大幀率,8fps
• 控制主機
• 電腦和搖杆控制
• 自動聚焦
• 電腦控制照明,鏡頭的選擇
