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搭载光谱分析软件，可同时测量多层膜的膜厚（通常为3层），以及测量光学定数（n，k）通过设定高感度高分解侦测头，可测量厚度至70um，同时配合使用100倍接物镜（可观察至点半径0.75um）
晶圆尺寸：3-8 inch
测量波长范围: 380-800nm
厚度测量范围: 100Å-70um
重复性: 0.1%或者2Å
