全自動四探針面電阻測量系統

  • 产品型号:WS-3000
  • 制造原厂:Napson Corp.

4個不同規格探頭自動切換
[無需根據樣品特性不同而手動更換探頭]
離邊1mm測量能力
高速測量實現高性價比
相容FOUP,具備GEM/SECS通信
       


  • 樣品尺寸:
    ~300mm(可選具備200mm)

  • 測量範圍:
    [RS] 1m~10M Ω/sq