測量系統由測量主機（RT-70V)和平臺組成
<測量主機 ; RT-70V >
通過旋鈕調整輸入樣品厚度
主機帶自我測試功能，及自動切換測量檔位功能
<測試平臺>
可根據實際測量應用從下列平臺中選擇.
(1) RG-7C: 電動測量探頭上下移動
(2) RG-7S: 手動測量探頭上下移動
(3) TS-7D: 掌上型測量探頭. *樣品放置板為選件
樣品尺寸：
基於所選擇的平臺而定
圓形樣品最大支持300mm(12 inch)，或方形最大尺寸730x920mm
測量範圍：
[R] 1μ~3M Ω・cm
[RS] 5m~10M Ω/sq
