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测量探头由冷热两个电极组成可测试各种类型样品,如单晶矽片,矽锭,矽棒等两种类型探头可选:1) 冷热探头分离式2) 冷热探头组合式
样品尺寸:大于2寸
测量范围:可测试PN极性的样品电阻率范围: 1m~20k Ω・cm
多晶矽,矽衬底上的薄膜,矽衬底上的氧化薄膜不能测试