非接觸多點面電阻測量系統

  • 产品型号:NC-80MAP
  • 制造原厂:Napson Corp.

面電阻值測量範圍廣,最多可以安裝4個探頭
最小離邊測量距離為7mm
客戶可程式設計測量點位元及條件
選件:厚度測量探頭(針對矽片)
       


  • 樣品尺寸:
    2~8寸 (選件:8寸)

  • 測量範圍:
    [R] 1m~200 Ω・cm
    [RS] 10m~3,000 Ω/sq
    該測量範圍由低,中,高,超高阻值的不同測量探頭來覆蓋