集成电路工艺

电阻率/PN性/少子寿命

非接觸式電阻值/電阻率測量儀

产品型号：NC-10
制造原厂：Napson Corp.

電腦控制實在簡便的操作及資料處理
通過渦電流測量方式實現非破壞性測量
根據測量範圍不同可更換5種不同探頭
單點中心位置測量
矽晶圓測量溫度補償

樣品尺寸：
支持3~8寸，或156x156mm
(另有2寸，12寸，210x210mm平臺可選配）
測量範圍：
[R] 1m ~ 200 Ω・cm
[RS] 10m~3000 Ω/sq
該測量範圍由低，中，高，超高阻值的不同測量探頭來覆蓋

NAP-NC-10