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探頭接觸樣品即自動開始測量3種測量模式為晶圓電阻率，體電阻率，面電阻率通過JOG旋鈕快速設定測量條件5種測量範圍探頭可根據樣品電阻率進行更換
樣品尺寸：可測量任意尺寸和形狀的樣品（*大於20mm直徑及測量表面需要平整）
測量範圍：[R] 1m ~ 200 Ω・cm[RS] 10m~3000 Ω/sq該測量範圍由低，中，高，超高阻值及適合太陽能矽片的不同測量探頭來覆蓋
