半自動四點探針Mapping測試儀

  • 产品型号:Cresbox
  • 制造原厂:Napson Corp.

測量點位元圖形可任意程式設計
測量範圍廣,帶自我測試功能
針對矽晶圓測量,具有厚度/邊緣效應/溫度補償功能
可通過面電阻換算膜厚
       


  • 樣品尺寸:
    支持最大8寸,或156x156mm

  • 測量範圍:
    [R] 1m~300k Ω・cm
    [RS] 5m~10M Ω/sq