半导体
集成电路工艺
硅片分选

全自动四探针硅片分选系统(机械手传送）

  • 产品型号：WS-8800
  • 制造原厂：Napson Corp.

  • 电阻率，厚度，P/N极性及温度测量分选

  • 具备自我测试功能，测量范围广

  • 针对硅片电阻率测量，具有厚度/测量点位及温度补偿功能

  • Cassette数量可根据客户要求设计

  • CIM通信功能，兼容SMIF或FOUP


  • 样品尺寸：

  • 3 ~ 8寸 (或 12寸)

  • 测量范围：

  • [R] 100μ~1M Ω・cm

  • [RS] 1m~10M Ω/sq
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